Name: Kratzfestes Saphirfenster Mohs 9 Halbleitergeräte Ansichtpunkt
Brand: Shanghai Advance Optical-Electronics Technology Co., Ltd
SKU: SW-SEM-HARD
Price: 29.00 USD
Availability: InStock

Produkte
Saphirglas
Kratzfestes Saphirfenster Mohs 9 Halbleitergeräte Ansichtpunkt

Qualität Kratzfestes Saphirfenster Mohs 9 Halbleitergeräte Ansichtpunkt Fabrik

Produktspezifikation

Herkunftsort: Guangdong, China

Markenbezeichnung: ECER Optics

Zertifizierung: ISO 9001:2015

Modellnummer: SW-SEM-HARD

Mindestbestellmenge: 10 Stück

Preis: USD 8-50 / Piece

Zahlungsbedingungen: T/T, PayPal, Western Union

Lieferfähigkeit: 30000 Stück pro Monat

Produktdetails

Hervorheben:

Kratzfestes Saphirfenster

,

Fenster für Halbleitergeräte

,

Mohs 9 Härte Optik

Product Name: Kratzfestes Saphirfenster

Application: Verarbeitung von Halbleiterwafern

Hardness: Mohs 9

Material: Einkristall-Saphir Al2O3

Diameter: Kundenspezifisch 10 mm - 200 mm

Chemical Resistance: Säure-, Basen- und Plasmabeständig

Surface Quality: 60 bis 40 Gräben

Flatness: Lambda/4

Produktbeschreibung

Kratzfestes Saphirfenster Mohs 9 Halbleitergeräte Ansichtpunkt

Dieses kratzfeste Saphirfenster ist für die Aussichtsräume von Halbleitergeräten gebaut, wo Prozesskammern Fenster Plasma, Partikelverschleiß und aggressive Reinigungschemikalien aussetzen.Das Fenster besteht aus einem einzigen Kristallsafir mit einer Mohs-Härte von 9, nur nach Diamant, wodurch es eine saubere optische Oberfläche viel länger als Glas- oder Quarz-Ansichtspunkte aufrechterhalten kann.

Für Waferverarbeitungswerkzeuge, die kontinuierlich betrieben werden, reduziert das kratzfeste Saphirfenster die Wartungsausfallzeiten und hält die Inspektionsbilder während der gesamten Lebensdauer der Kammer gleich.Halbleiter-Umgebungen verlangen mehr als nur Härte, weshalb dieses Saphirfenster auch für die chemische Beständigkeit gegen Säuren, Basen und Plasmakemie sowie die thermische Stabilität bei Temperaturschwankungen des Prozesszyklus spezifiziert ist.

Jedes Fenster ist bis zu einer 60-40-Grad-Flächenqualität mit einer Flächigkeit von Lambda über 4 poliert, und die Randprofile werden geschliffen und abgeschrägt, um Spannungskonzentrationen in der Montageflansche zu vermeiden.Es gibt maßgeschneiderte Durchmesser von 10 mm bis 200 mm und Dicken, die auf Vakuum oder atmosphärischen Druck zugeschnitten sind, und jede Lieferung enthält Materialzertifikate und Dimensionsprüfungsunterlagen für die Ausrüstungskwalifizierung.

Technische Spezifikation

Produktbezeichnung	Kratzfestes Saphirfenster
Material	Einkristallsafir Al2O3
Härte	Mohs-Wert 9
Durchmesser	10 mm - 200 mm benutzerdefiniert
Stärke	1.0mm - 8.0mm Maßgeschneidert
Oberflächenqualität	60 bis 40 Gräben
Flachheit	LAMBDA/4 @ 632,8 nm
Chemische Resistenz	Säure-, Basen- und Plasmabeständig
Anwendung	Verarbeitung von Halbleiterwafern
Bescheinigung	RoHS-konform, ISO 9001:2015

Wichtige Vorteile

Mohs-Härte 9 widersteht Partikel- und Plasma-induktiertem Kratzen
Chemische Trägheit überlebt aggressive Kammerreinigung Chemikalien
Thermische Stabilität Handgriffe Prozesstemperatur Zyklus ohne Bruch
Beveled Bodenkanten reduzieren die Spannungskonzentration in der Montageflansche
Lange Lebensdauer reduziert Auswechslungsfrequenz und Ausfallzeiten
Materialzertifikate unterstützen die Qualifizierung von Halbleitergeräten
Benutzerdefinierte Größen entsprechen Vakuum- und atmosphärischen Prozessansichten
Konsistente optische Klarheit für die Waferprüfung durch das Fenster

Das kratzfeste Saphirfenster ist auf die realen Betriebsbedingungen der Halbleiterherstellung ausgelegt: wiederholte Kammeröffnungen, Plasma-Reinigungen und Abrasivpartikelströme.Felddaten aus Geräte-Service-Programmen zeigen, dass Saphir-Ansichtspunkte in der Regel Quarz um mehrere Male in Ätzen und Ablagerung Werkzeuge überdauern, wodurch die Betriebskosten für die Fabrikbetreiber direkt gesenkt werden.

Das Fenster eignet sich auch für angrenzende Industriezweige, die das gleiche Profil einer rauen Umwelt haben, einschließlich der Flachbildschirmverarbeitung, der Herstellung von Solarzellen und Vakuumbeschichtungssystemen.Konstrukteurinnen und Konstrukteure erhalten eine bessere Anleitung, einschließlich der empfohlenen Flanschtoleranzen und Dichtungsmaterialien, so dass das kratzfeste Saphirfenster ohne Nachbearbeitung in bestehende Aussichtsportentwürfe integriert wird.

Produktfragen und Antworten

F: Warum benötigen Halbleiter-Ansichtspunkte Saphir statt Quarz?

Prozesskammern erzeugen Plasma, Partikel und reaktive Chemikalien, die Quarz-Ansichtspunkte schnell zerkratzen und zerkratzen und den optischen Weg trüben.Saphir mit Mohs 9 Härte widersteht dieser Schädigung für viel längere Zyklen, und seine chemische Trägheit verhindert den Abbau durch Reinigungsmittel.

F: Welche Druckwerte kann das Fenster halten?

Für typische 25 mm bis 100 mm-Ansichtspunkte unterstützen Dicken von 2 mm bis 8 mm Vakuum bis zu mehreren Bar-Differenzdruck.Wir bieten empfohlene Dicke Berechnungen für Ihre spezifischen Kammer Bedingungen.

F: Kann das Fenster in sichtbarem Bereich gegen Reflexionen beschichtet werden?

Während viele Halbleiter-Ansichtspunkte für maximale Robustheit unbeschichteten Saphir verwenden, können wir eine langlebige AR-Beschichtung für sichtbare Inspektionswellenlängen anwenden, wenn eine höhere Übertragung erforderlich ist.Die Beschichtung wird vor der Freisetzung auf Plasma- und chemische Exposition validiert.

F: Welche Unterlagen werden für die Ausrüstungskvalifizierung bereitgestellt?

Jede Lieferung beinhaltet Saphir-Materialzertifikate, Abmessungsprüfungsberichte, Oberflächenqualitätsunterlagen und RoHS-Deklarationen.Für qualifizierte Programme können wir auch Batch-Niveau chemische Widerstandstestdaten und thermischen Zyklus Ergebnisse.

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